1.起升驱动故障。一般有升降有异响.不能上升、下降、下降时有跌落感、反弹、传动时空回隙大、微调无传动、投影屏松动等。

　　2.工作台失效。通常易发生光杆空转、光杆驱动有反弹、传动时不顺、工作台移动有响声、工作台移动有卡滞等。在排除故障时，要找到故障的原因，然后对症治疗。可调簧的螺钉松紧、更换轴承、重新上油、加润滑油、换光杆、调整或更换光杆支架等。

　　3.投影屏幕失效。转动有声音响时，可以清除端面的杂质(如锈迹)、更换定位轴承等。转动时力大，可以松开锁紧螺钉，或更换转动。当转动不均匀时，可以更换新的轮磨轮轴等。当投影屏幕旋转不计数时，可以扭紧角度磨磨机器，焊接好信号线，接插器等。

　　4.投影仪故障。影像模糊不清.成像有暗区.图像有黑色斑点.成像对比光线较暗等，可与物镜、投影屏、工作台玻璃.聚光镜.反光镜等清洁。调整或更换灯丝。当灯泡电源电压过低时，增加一个总电源稳定器。

　　5.影像成像失效。当显示黑屏幕时，可查看电源线是否接通，电源电压等，插入显示器信号线，如果有部件损坏，则需更换显示器或交叉生成器。在物镜和瞄点偏差较大时，应重新调整锁镜筒的螺丝，或更换镜筒。在测试工作的某一面出现暗影时，可以调整相机或照相机或玻璃四个角上的螺钉，将工件摆正。

　　6.电气故障。一般故障有灯泡不亮.轴流通风扇不转.灯泡容易烧坏.熔断保险丝.变压器过热，损坏等。

　　7.电子故障。按键失效，可系统总清.换新面罩；如轴数不计数，可更换滑座或OP板或全尺.重新接通信号线.更换主机板等。如果数码管缺少，需要更换或修理。

　　8.精度故障。含x.y.z轴精度不准.两坐标测量精度较差.角度示值误差较大.不同平面测量误差较大等。处理这类故障时，要注意校正。

　　如果想让影像测量仪少发生故障，就要注重平时对仪器进行保养。仪器存放环境相当重要，应放在清洁干燥的房间里，避免光学零件表面发霉、金属零件生锈、尘埃杂物剥落等。件表面要保持清洁，不可以用手触摸，要经常进行清洁。